【 溅射 jiàn shè 】
1、吸气剂溅射设备 2、 蒸发层和溅射层的选择刻蚀是保证成品的关键步骤。 3、 对于超大规模集成电路的平面状表面,可以用偏置溅射淀积法的层间介质淀积(见9.2.4节)或用平面化工艺来近似获得。 4、 离子溅射镀膜台